Zawory i akcesoria do wysokiej próżni

Hochvakuum-Ventile von SMC

Nasze zawory do wysokiej próżni charakteryzują się wysoką trwałością i szczelnością, są wyjątkowo odporne na korozję. Dostępne są wersje sterowane pneumatycznie, elektromagnetycznie i ręcznie, w dużej rozpiętości wielkości. Pracują przy ciśnieniach 10 bar po stronie wejścia i 1×10-8 mbar po stronie wyjścia.

XLAQDQHDoskonała przewodność cieplna zaworów kątowych serii XL zapewnia równomierną temperaturę w całym korpusie zaworu i minimalizuje kondensację gazów w zaworze. Te zawory wysokopróżniowe nie zawierają metali ciężkich, takich jak nikiel lub chrom, zminimalizowane jest zjawisko gazowania.

  • duży zakres wielkości zaworów
  • duża żywotność
  • minimalny przeciek
  • wysoka odporność na korozję
  • sterowanie pneumatyczne, elektromagnetyczne lub ręczne

Katalog

Konfigurator produktu

Zapytaj SMC

XM_XYHMateriał obudowy serii XM (zawór kątowy) i XY (zawór osiowy) jest wykonany ze stali nierdzewnej. XM ma takie same wymiary jak aluminiowa seria XL i dlatego mogą być wymieniane zgodnie z wymaganiami. Precyzyjny jednolity odlew zapobiega powstawaniu defektów, takich jak kieszenie gazowe lub porowate plamy.

 

XSA-A-P01-5W zależności od wariantu, ten zawór do wysokiej próżni wytrzymuje ciśnienie robocze rzędu 10 bar (wejście) i minimalne 10-6 (wyjście). Odporny na korozję, lekki i energooszczędny.

Zastosowanie:

  • komory procesowe
  • przetwórstwo spożywcze
  • produkcja półprzewodników
  • i wiele innych

Katalog

Konfigurator produktu

Zapytaj SMC

xvd2

Jeśli komora wysokiego podciśnienia jest napowietrzana zbyt szybko (czyste powietrze / N2), pojawiają się turbulencje a do wnętrza komory dostają się niepożądane cząstki.

Regulowany XVD2 umożliwia powolne, kontrolowane i praktycznie pozbawione turbulencji nagazowanie komory wysokopróżniowej. Umożliwia to utrzymanie liczby cząstek w komorze na możliwie najniższym poziomie.

  • Zawór do wysokiej próżni, regulowane dwustopniowe nagazowanie
  • Ciśnienie robocze: 2 bar – 10-8 mbar
  • Medium: azot, powietrze
  • Typ: normalnie zamknięty
  • Materiał: SUS316L, SUS304, FKM

Katalog

Konfigurator:

Zapytaj SMC

 

XGTHZawory szczelinowe serii XGT to najwyższej jakości rozwiązanie do komór próżniowych.

Korzyści:

  • Niska emisja zanieczyszczeńopcjonalnie z blokadą w położeniu końcowym
  • Opcjonalnie z blokadą w położeniu końcowym
  • Długa żywotność
  • Do wafli 200 i 300 mm

zastosowanie: do produkcji półprzewodników i ogniw fotowoltaicznych

Katalog

Konfigurator

Zapytaj SMC

Beztłoczyskowy siłownik do komór z wysoką próżnią został specjalnie opracowany na potrzeby komór procesowych.

  • Średnice tłoka od 15 do 32 mm
  • Napęd do systemów przenoszenia w komorze wysokiej próżni
  • Najwyższa jakość i bezpieczeństwo dla Twojego procesu
  • Napędy zoptymalizowane do transportu wafli i innych przedmiotów w komorach próżniowych

Katalog

Konfigurator

Zapytaj SMC

ZSE80ZSE80 to czujnik podciśnienia z wyjściami PNP, NPN i analogowym napięciowym lub prądowym. Dwukolorowy wyświetlacz umożliwia szybką weryfikację, czy mierzona wartość jest prawidłowa. Dostępne są dwa typy przyłączania (od tyłu lub od dołu) i gwinty R, NTP, RC, G, URJ (zgodne z VCR®) TSJ (zgodne ze Swagelok®).

Katalog

Konfigurator produktu

Zapytaj SMC

Kompleksowe rozwiązania

Wieloletnie doświadczenia pozwoliły na zbudowanie kompletnego portfolio produktów. Od nas otrzymasz wszystko w jednym miejscu, spełniające wszystkie Twoich potrzeby związanych z automatyką - bez względu na to jak wyjątkowe są Twoje wymagania.
Dowiedz się więcej

Obsługa

Jakość obsługi jest dla nas najważniejsza! Mamy produkty i rozwiązania dokładnie dopasowane do Twoich potrzeb. Dołącz do społeczności naszych zadowolonych klientów.
Skontaktuj się z nami

Wielu naszych używa specjalistycznych technologii wymagających wysokiej próżni m.in. w ramach:

  • Produkcji mikroczipów,
  • wytwarzania półprzewodników i ogniw fotowoltaicznych,
  • Powlekania metalem,
  • Procesów analitycznych w spektrometrach masowych i mikroskopach elektronowych lub
  • badaniu szczelności.

Aplikacje stosujące wysoką próżnię stawiają bardzo wysokie wymagania elementom i materiałom. Dlatego nasi inżynierowie na całym świecie pracują nad znalezieniem najlepszych rozwiązań dla Twoich potrzeb.

Korzyści

Każdy układ wysokiej próżni wymaga zaawansowanych zaworów. Doskonała przewodność cieplna powoduje, że temperatura korpusu pozostaje równomierna, dzięki czemu zminimalizowane jest gazowanie.

Ponadto oferujemy serię zaworów z opcjonalnym elementem grzejnym, zmniejszonym zjawisku gazowania,
zużywa się mniejszą moc i skraca się czas opróżniania (= czas osiągnięcia pożądanej próżni). Oferujemy zawory wysokopróżniowe wykonane z aluminium, które nie zawierają metali ciężkich, takich jak  nikiel i chrom. Te metale ciężkie mogą powodować zanieczyszczenie, a tym samym psuć ekonomikę procesu produkcji.

Nasze zawory wykonane są ze specjalnego stopu aluminium lub stali nierdzewnej w różnych wersjach – od klasycznego zaworu kątowego poprzez osiowy aż po szczelinowy. W ofercie mamy innowacyjny zawór do dwustopniowego regulowanego nagazowania. Zawory dostępne są w różnych rozmiarach i wersjach kołnierzy.

Innowacyjne rozwiązania dla Twojego systemu

Często standardowe produkty nie wystarczą aby sprostać wszystkim wymaganiom. Dlatego nasi inżynierowie są pasjonatami tworzenia nowych i innowacyjnych produktów.

Na przykład opracowali łatwy w serwisowaniu zawór kątowy serii XL*Q. Co jest w tym specjalnego? Zawór nie musi być zdemontowany w celu serwisowania i konserwacji, dzięki czemu czyszczenie jest szybkie i ekonomiczne. Innym opracowaniem SMC jest kompaktowy dwustopniowy zawór odpowietrzający XVD2, który umożliwia nagazowanie praktycznie bez turbulencji.

Czy Twoje potrzeby wykraczają daleko poza standard? Przyjdź do SMC – nasi eksperci automatyki zawsze mają dla Ciebie odpowiednie rozwiązanie. Skorzystaj z naszych wysokiej jakości, innowacyjnych produktów do wydajnej produkcji w Twojej firmie.